半導體研究學院院長
林本堅 特聘研究講座教授

兼任台積電研發中心主任、中央研究院院士、
美國工程院院士、IEEE 會士、SPIE會士

學歷：
美國俄亥俄州立大學電機工程博士

研究領域：
奈米微影術、半導體製造技術

Email：burnlin@ee.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-42206
辦公室：第三綜合大樓
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