半導體製程部

清華大學半導體研究學院製程部課程規劃

(實際開課學期仍需依各開課系所）

領域
(中英文)		 課程名稱 (中英文) 授課
老師		 課程科號 學
分		 必/
選		 開課
系所		 課程
程度		 開課
學期
設計 Design 半導體設計導讀
Introduction to Semiconductor Design		 劉靖家、黃稚存、
黃朝宗		 CSR 5301 2 必 CSR 研究所 上
元件 Device 半導體元件導讀
Introduction to Semiconductor Device		 白田理一郎 CSR 5101 2 必 CSR 研究所 上
材料 Material 半導體材料導讀
Introduction to Semiconductor Material		 廖建能 CSR 5201 2 必 CSR 研究所 上
模組製程技術
Module Process Technology		 製程整合
Process Integration		 張守仁
(力晶積成電子)		 CSR 5402 2 必 CSR 研究所 下
先進半導體製程測量
Introduction of Metrology for Advanced Semiconductor Process Control		 趙強
(科磊)		 CSR 5408 3 選 CSR 研究所 下
先進半導體製程測量
Introduction of Metrology for Advanced Semiconductor Process Control		 趙強
(科磊)		 CSR 5410 2 選 CSR 研究所 下
先進半導體技術
Advanced Technologies for Semiconductor and Display		 王寶琪(AMAT) MS 5406 3 選 材料系 研究所 下
微波工程(Eng)
Microwave Engineering		 柳克強 ESS 5271 3 選 工科系 研究所 下
離子體物理(Eng)
Plasma Physics		 張存續 PHYS 5350 3 選 物理系 研究所 下
薄膜工程導論
Introduction to thin film engineering		 黃嘉宏 ESS 4520 3 選 工科系 研究所 上
材料化學分析技術
Analytical techniques for Materials Chemistry		 楊家銘 CHEM 5430 3 選 化學系 研究所 上

鰭式場效電晶體實作課程
Practical course of FinFET Process Fabrication 

高蔡勝
沈昌宏(TSRI)
李愷信(TSRI)

 CSR 5409 3 選 CSR 研究所 上

化學機械研磨製程
Chemical Mechanic Polish Process

黃健朝

 CSR 5411 2 選 CSR 研究所 下
微影
Lithography 		 半導體微影、RET、Immersion、EUV(Eng)
Semiconductor Lithography		 林本堅 CSR 5403 3 必/選 CSR 研究所 上
光學鄰近修正
Optical Proximity Correction		 高蔡勝 CSR 5404 2 選 CSR 研究所 下
微影、蝕刻、鍍膜、清洗、製程設備與控制
Litho Process & Control, scanner,
track, metrology, Deposition, Etching, Cleaning		 Peter Loewenhardt(TEL)
陳俊光(ASML)		 CSR 5405 3 選 CSR 研究所 下
微影光罩
Lithography Mask		 高蔡勝 CSR 6401 2 選 CSR 研究所 上
極紫外光微影原理(Eng)
Principles of Extreme-Ultraviolet Lithography		 嚴濤南(ASML) CSR 5406 2 選 CSR 研究所 下
封裝技術與模擬
Package Technology and Simulation		 電子封裝力學概論(Eng)
Fundamental Mechanics of
Electronic Packaging		 江國寧 PME 6343 3 選 動機系 研究所 下
奈米世代封裝技術
Packaging for Nanoelectronics		 余振華
余國寵
(TSMC)		 CSR 5407 2 選 CSR 研究所 下