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半導體製程部

清華大學半導體研究學院製程部課程規劃

(實際開課學期仍需依各開課系所)

領域
(
中英文)
課程名稱 (中英文) 授課
老師
課程科號
/
開課
系所
課程
程度
開課
學期
設計 Design 半導體設計導讀
Introduction to Semiconductor Design
劉靖家 CSR 5301 2 CSR 研究所
元件 Device 半導體元件導讀
Introduction to Semiconductor Device
白田理一郎 CSR 5101 2 CSR 研究所
材料 Material 半導體材料導讀
Introduction to Semiconductor Material
廖建能 CSR 5201 2 CSR 研究所
模組製程技術
Module Process Technology
製程整合
Process Integration
張守仁
力晶積成電子
CSR 5402 2 CSR 研究所
先進半導體製程量測
Introduction of Metrology for Advanced Semiconductor Process Control
趙強
科磊
CSR 5408 3 CSR 研究所
先進半導體技術
Advanced Technologies for Semiconductor and Display
王寶琪
AMAT 
MS 5406 3 材料系 研究所
微波工程(Eng)
Microwave Engineering
柳克強 ESS 5271 3 工科系 研究所
離子體物理(Eng)
Plasma Physics
張存續 PHYS 5350 3 物理系 研究所  
薄膜工程導論
Introduction to thin film engineering
黃嘉宏 CSR 5409 3 CSR 研究所  
微影
Lithography 
光學鄰近修正
Optical Proximity Correction
高蔡勝 CSR 5404 2 CSR 研究所
微影、蝕刻、鍍膜、清洗、製程設備與控制
Litho Process & Control, scanner,
track, metrology, Deposition, Etching, Cleaning
Peter Loewenhardt
TEL 
陳俊光
ASML 
CSR 5405 3 CSR 研究所
微影光罩
Lithography Mask
高蔡勝 CSR 6401 2 CSR 研究所  
極紫外光微影原理
Principles of Extreme-Ultraviolet Lithography
嚴濤南
ASML
CSR 5406 2 CSR 研究所
封裝技術與模擬
Pakage Technology and Simulation
電子封裝力學概論(Eng)
Fundamental Mechanics of
Electronic Packaging
江國寧 PME 6343 3 動機系 研究所
奈米世代封裝技術
Packaging for Nanoelectronics
余振華
TSMC
CSR 5407 2 CSR 研究所