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半導體製程部

清華大學半導體研究學院製程部課程規劃

(實際開課學期仍需依各開課系所)

領域
(中英文)
課程名稱 (中英文) 授課
老師
課程科號

/

開課
系所
課程
程度
111開課
學期
112開課
設計 Design 半導體設計導讀
Introduction to Semiconductor Design
劉靖家 CSR 5301 2 CSR 研究所  
元件 Device 半導體元件導讀
Introduction to Semiconductor Device
白田理一郎 CSR 5101 2 CSR 研究所  
材料 Material 半導體材料導讀
Introduction to Semiconductor Material
廖建能 CSR 5201 2 CSR 研究所  
製程 Process 製程整合
Process Integration
張守仁
力晶積成電子
CSR 5402 3 CSR 研究所   下   
先進半導體技術
Advanced Technologies of Semiconductor
AMAT - Steve Wang MS 5406 3 材料系 研究所  
微影  半導體微影、RET、Immersion、EUV
Semiconductor Lithography
林本堅 CSR 5403 3 CSR 研究所  
光學鄰近修正
Optical Proximity Correction
高蔡勝 CSR 5404 2 CSR 研究所  
微影/蝕刻製程與控制,微影和計量設備
Litho Process & Control, scanner, track, metrology
ASML TEL
台積電
CSR 5405 3 CSR 研究所  
微影光罩
Lithography Mask
高蔡勝 CSR 6401 2 CSR 研究所   112-1
極紫外光微影原理
Principles of Extreme-Ultraviolet Lithography
嚴濤南
ASML
CSR 5406 2 CSR 研究所  
薄膜製程  微波工程(Eng)
Microwave Engineering
柳克強 ESS 5271 3 工科系 研究所  
離子體物理(Eng)
Plasma Physics
張存續 PHYS 5350 3 物理系 研究所  
材料化學分析技術
Analytical techniques for Materials Chemistry
楊家銘 CHEM 5430 3 化學系 研究所 112-1
封裝技術
與模擬
電子封裝力學概論(Eng)
Fundamental Mechanics of
Electronic Packaging
江國寧 PME 6343 3 動機系 研究所  
奈米世代封裝技術
Packaging for Nanoelectronics
余振華
TSMC
CSR 5407 2 CSR 研究所