半導體製程部

清華大學半導體研究學院製程部課程規劃

(實際開課學期仍需依各開課系所）

領域 (中英文)	課程名稱 (中英文)	授課老師	課程科號	學分	必/ 選	開課系所	課程程度	開課學期
設計 Design	半導體設計導讀 Introduction to Semiconductor Design	黃朝宗	CSR 5301	2	必	CSR	研究所	上
元件 Device	半導體元件導讀 Introduction to Semiconductor Device	白田理一郎	CSR 5101	2	必	CSR	研究所	上
材料 Material	半導體材料導讀 Introduction to Semiconductor Material	廖建能	CSR 5201	2	必	CSR	研究所	上
模組製程技術 Module Process Technology	製程整合 Process Integration	張守仁力晶積成電子	CSR 5402	2	必	CSR	研究所	下
	先進半導體製程量測 Introduction of Metrology for Advanced Semiconductor Process Control	趙強科磊	CSR 5408	3	選	CSR	研究所	下
	先進半導體技術 Advanced Technologies for Semiconductor and Display	王寶琪 AMAT	MS 5406	3	選	材料系	研究所	下
	微波工程(Eng) Microwave Engineering	柳克強	ESS 5271	3	選	工科系	研究所	下
	離子體物理(Eng) Plasma Physics	張存續	PHYS 5350	3	選	物理系	研究所	下
	薄膜工程導論 Introduction to thin film engineering	黃嘉宏	ESS 4520	3	選	工科系	研究所	上
	材料化學分析技術 Analytical techniques for Materials Chemistry	楊家銘	CHEM 5430	3	選	化學系	研究所	上
	鰭式場效電晶體實作課程 Practical course of FinFET Process Fabrication	高蔡勝沈昌宏、李愷信 TSRI	CSR 5409	3	選	CSR	研究所	上
微影 Lithography	半導體微影、RET、Immersion、EUV(Eng) Semiconductor Lithography	林本堅	CSR 5403	3	選	CSR	研究所	上
	光學鄰近修正 Optical Proximity Correction	高蔡勝	CSR 5404	2	選	CSR	研究所	下
	微影、蝕刻、鍍膜、清洗、製程設備與控制 Litho Process & Control, scanner, track, metrology, Deposition, Etching, Cleaning	Peter Loewenhardt TEL 陳俊光 ASML	CSR 5405	3	選	CSR	研究所	下
	微影光罩 Lithography Mask	高蔡勝	CSR 6401	2	選	CSR	研究所	上
	極紫外光微影原理 Principles of Extreme-Ultraviolet Lithography	嚴濤南 ASML	CSR 5406	2	選	CSR	研究所	下
封裝技術與模擬 Package Technology and Simulation	電子封裝力學概論(Eng) Fundamental Mechanics of Electronic Packaging	江國寧	PME 6343	3	選	動機系	研究所	下
封裝技術與模擬 Package Technology and Simulation	奈米世代封裝技術 Packaging for Nanoelectronics	余振華 TSMC	CSR 5407	2	選	CSR	研究所	下