半導體元件部 方維倫 清華講座教授
方維倫 教授
清華講座教授
微機電系統(MEMS)、微感測器、微致動器、微加工技術、微元件與系統測試技術、薄膜機械性質量測技術
學歷
美國卡內基麥倫大學 博士
研究領域
微機電系統(MEMS)、微感測器、微致動器、微加工技術、微元件與系統測試技術、薄膜機械性質量測技術
聯絡資訊
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聯絡電話： (03) 57-42923
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ORCID： 0000-0002-6000-026X