林本堅

特聘研究講座教授 ‧ 半導體學院院長

學歷：美國俄亥俄州立大學電機工程博士

研究：奈米微影術、半導體製造技術

賴志煌

清華講座教授 ‧ 半導體研究學院副院長

學歷：美國史丹佛大學材料科學工程博士

研究：自旋電子元件、磁性記憶體 (MRAM)、CIGS 薄膜太陽能電池

劉靖家

教授 ‧ 半導體學院副院長

研究：電子系統層級設計、高可靠度系統設計、嵌入式系統

林崇榮

教授 ‧ 半導體元件部主任

研究：快閃記憶體、積體電路元件、功率電晶體

馬席彬

教授 ‧ 半導體設計部主任

研究：運動科技、高頻交易系統硬體

廖建能

清華特聘教授 ‧ 半導體材料部主任

學歷：UCLA 材料科學工程博士

研究：熱電材料與元件、光電化學觸媒與電極材料製備與分析、雙晶銅奈米線合成與分析、積體電路連結導線電遷移機制

高蔡勝

半導體特聘教授 ‧ 半導體製程部主任

學歷：清華大學物理學博士

研究：OPC、光罩技術、半導體微影製程技術