半導體研究學院搭配國家科學及技術委員會晶創計畫，逐步建構臺灣唯一實驗室等級EUV微影技術的研究設施，主軸方向則專注於次奈米世代(sub 1-nm node)的EUV微影核心重點技術，透過核心設施的整合建置，整合成一個完整 one stop EUV lithography 的研究服務平台，讓學校教授及學生能透過此研究平台，一次性完成EUV微影實驗與研究，而核心設施除了完全符合次奈米世代微影技術的開發藍圖及方向，其提供的研究動能亦能讓全國不同科系所學生(如材料、化工、化學、物理、電機、光電等)都夠透過此平台設施來研究其所屬領域知識，達到極大化平台設施的使用量，同時連接產業所需要的技術發展及人才培育，達成產學研的雙贏局面。
儀器類型與預約方式
研究人才與學生請利用「晶片驅動－全臺半導體資源共享平台」預約服務系統進行線上預約；業界廠商亦同。
為促進半導體資源整合與共享，國家實驗研究院半導體中心(TSRI)建置「全臺半導體共享及預約管理系統」，整合全臺各大半導體學院之製程服務與儀器設備資源，國家科學及技術委員會可同步處理使用者預約儀器使用申請流程之控管、以及計畫主持人實驗進度之掌握以及相關儀器設備的有效管理等作業，特請預約服務管理系統供相關人士使用 (行政人員、技術人員、研究人才、學生、廠商)。
本院儀器類型與服務(依儀器英文縮寫字母排序)
儀器一：E-Beam — 電子束直寫微影機台
- 諮詢教授：李宏仁 教授
- 儀器管理員：陳柏熊 助理研究員
- 聯絡 Email：EBL1_cosr@my.nthu.edu.tw
- 連絡分機：35926
- 儀器文件下載(含預計開放時間)：下載文件
儀器二：FIB — 焦離子束電子束掃瞄式微結構製造系統
- 諮詢教授：嚴大任 教授
- 儀器管理員：吳心如 博士
- 聯絡 Email：fib_cosr@my.nthu.edu.tw
- 連絡分機：33876
- 儀器文件下載(含預計開放時間)：下載文件
儀器三：Multifunctional EUV Measurement System — 多功能極紫外光檢測系統
- 諮詢教授：陳明彰 教授
- 儀器管理員：蔡明憲 博士
- 聯絡 Email：euv_cosr@my.nthu.edu.tw
- 連絡分機：34079
- 儀器文件下載(含預計開放時間)：下載文件
儀器四：PVD — 多腔體物理氣相沉積系統（NANOQUEST II-XL IBSD & MSD CLUSTER）
- 諮詢教授：賴志煌 教授
- 儀器管理員：張詠淩 博士
- 聯絡 Email：pvd_cosr@my.nthu.edu.tw
- 連絡分機：33859
- 儀器文件下載(含預計開放時間)：下載文件
論文致謝
親愛的使用者：
感謝您使用本院儀器服務。若本院儀器對您的發表著作或畢業論文有實質助益，誠摯希望您將本院儀器列名為「致謝者」 （清大半導體學院奈米微影設備建置計畫（1/5）— 國科會計畫編號：NSTC 113-2640-E-007-006-）。 請將列名致謝之發表資訊（期刊、年份、卷數、頁數與題目）E-MAIL 給使用儀器之管理員，感謝您的支持。
致謝範例：
- 國立清華大學半導體研究學院（The CoSR at NTHU）
- 儀器名稱
- 儀器操作員姓名
Thank to 姓名 (The CoSR at NTHU) for FIB analysis.