院長林本堅
林本堅 教授
國立清華大學 半導體研究學院
特聘研究講座教授｜半導體學院院長
學歷
美國俄亥俄州立大學 電機工程博士
研究領域
- 奈米微影術
- 半導體製造技術
- 薄膜沉積與特性分析
- 質量傳輸與界面反應
- 電遷移、熱遷移與應力遷移
- 無鉛錫焊料與銅互連技術
聯絡資訊
Email：burnlin@ee.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-42206
辦公室：第三綜合大樓 4 樓
實驗室：Electronic Thin Film and Packaging Lab
特聘研究講座教授｜半導體學院院長
美國俄亥俄州立大學 電機工程博士
Email：burnlin@ee.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-42206
辦公室：第三綜合大樓 4 樓
實驗室：Electronic Thin Film and Packaging Lab