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製程部

製程部碩士班
Master’s Program
111~112學年度 113~114學年度起 115學年度起
●核心必修(6學分)
Required Courses
CSR 5101半導體元件導讀(2) & CSR 5301半導體設計導讀(2) & CSR 5201半導體材料導讀(2)
●專業必修
Required Courses
CSR 5402製程整合(2) CSR 5402製程整合(2) & CSR 5403半導體微影、RET、Immersion、EUV(3)
●專業選修
Elective Courses
至少選4門(13) 至少選3門(10) 至少選3門(10),AI組-須選修機器學習
●共同必修(5學分)
Required Courses
CSR 5001書報討論(二學期共2學分) & CSR 6000論文研究(二學期共0學分) & CSR 5002領導統御(3)
●實習學分(3學分)
Elective Courses
業界實習 or 實務課程 or 姐妹校交換
畢業總學分數
Total Credits
29學分
*( )內之數字為須修習學分數。
*請新生於入學申請抵免前,詳閱辦法與說明且必修課程皆不可用跨單位學分抵免。
*請碩班生於跨單位修課前,提出申請表並依須知辦理(含入學時學分抵免)碩生至多認列 6 學分為專業選修。
*申請姊妹校交換資格前,請洽詢院辦學分認列之適用方式。
製程部博士班
Ph.D. Program
111學年度 112~113學年度 114學年度起
●核心必修(6學分)
Required Courses
CSR 5101半導體元件導讀(2) & CSR 5301半導體設計導讀(2) & CSR 5201半導體材料導讀(2)
●專業必修
Required Courses
CSR 5402製程整合(2)
CSR 5403半導體微影、RET、
Immersion、EUV(3)
●專業選修
Elective Courses
至少選2門(6) 至少選3門(9) 至少選1門(4)
●共同必修(5學分)
Required Courses
CSR 5001書報討論(二學期共2學分) &
CSR 8000論文研究(二學期共0學分) &
CSR 5002領導統御(3)
CSR 7002專題討論(二學期共2學分) &
CSR 8000論文研究(二學期共0學分) &
CSR 7003企業領導(3)
●實習學分(3學分)
Elective Courses
業界實習 or 實務課程 or 姐妹校交換
畢業總學分數
Total Credits
20學分 23學分
*( )內之數字為須修習學分數。
*請新生於入學申請抵免前,詳閱辦法與說明且必修課程皆不可用跨單位學分抵免。
*請博班生於跨單位修課前,提出申請表並依須知辦理(含入學時學分抵免)博生至多認列 9 學分為專業選修。
*碩升博生已修過核心必修者,請洽詢院辦免修申請方式。
*申請姊妹校交換資格前,請洽詢院辦學分認列之適用方式。
製程部逕讀博士學位
Direct-Entry Ph.D.
111學年度 112學年度 113學年度起
●核心必修(6學分)
Required Courses
CSR 5101半導體元件導讀(2) & CSR 5301半導體設計導讀(2) & CSR 5201半導體材料導讀(2)
●專業必修
Required Courses
CSR 5402製程整合(2) CSR 5402製程整合(2) &
CSR 5403半導體微影、RET、Immersion、
EUV(3)
●專業選修
Elective Courses
至少選6門(19) 至少選5門(16)
●共同必修(5學分)
Required Courses
CSR 5001書報討論(二學期共2學分) &
CSR 8000論文研究(二學期共0學分) &
CSR 5002領導統御(3)
CSR 7002專題討論(二學期共2學分) &
CSR 8000論文研究(二學期共0學分) &
CSR 7003企業領導(3)
●實習學分(3學分)
Elective Courses
業界實習 or 實務課程 or 姐妹校交換
畢業總學分數
Total Credits
35學分
*( )內之數字為須修習學分數。
*請新生於入學申請抵免前,詳閱辦法與說明且必修課程皆不可用跨單位學分抵免。
*請博班生於跨單位修課前,提出申請表並依須知辦理(含入學時學分抵免)博生至多認列 9 學分為專業選修。
*申請姊妹校交換資格前,請洽詢院辦學分認列之適用方式。

課程資訊表:

領域(中英文) 課程名稱(中英文) 授課老師 課程科號 學分 必/選修 開課系所 課程屬性 開課學期
元件 Device 半導體元件導論(Eng)
Introduction to Semiconductor Device
白田理一郎 CSR 5101 2 核心必修 CSR 研究所
設計 Design 半導體設計導論(Eng)
Introduction to Semiconductor Design
劉靖家、謝志成、
黃稚存、黃朝宗
CSR 5301 2 核心必修 CSR 研究所
材料 Material 半導體材料導論(Eng)
Introduction to Semiconductor Material
廖建能 CSR 5201 2 核心必修 CSR 研究所
模組製程技術
Module Process Technology
製程整合
Process Integration
張守仁
(PSMC)
CSR 5402 2 CSR 研究所
先進半導體製程測量
Introduction of Metrology for Advanced Semiconductor Process Control
趙強
(KLA)
CSR 5408 3 CSR 研究所
化學機械研磨製程
Chemical Mechanic Polish Process
黃健朝 CSR 5410 2 CSR 研究所
先進半導體技術
Advanced Technologies for Semiconductor and Display
王寶琪(AMAT) MS 5406 3 材料系 研究所
微波工程(Eng)
Microwave Engineering
柳克強 ESS 5271 3 工科系 研究所
離子體物理
Plasma Physics
張存續 PHYS 5350 3 物理系 研究所
薄膜工程導論
Introduction to thin film engineering
黃嘉宏 ESS 4520 3 工科系 研究所
材料化學分析技術 (Eng)
Analytical techniques for Materials Chemistry
楊家銘 CHEM 5430 3 化學系 研究所
半導體晶圓清洗製程及不良粒子控制技術
Semiconductor cleaning process and defect reduction technology
TBD CSR 5411 2 CSR 研究所 TBD
先進半導體製程技術
Introduction of advanced semiconductor process technology
沈昌宏 CSR 5413 2 CSR 研究所 上/下
半導體蝕刻技術
Etching technology for semiconductor
沈昌宏 TBD 2 CSR 研究所 TBD
半導體化學品材料與製程應用
Chemical Material and Process Application in Semiconductor
李宏仁 CSR 5414 2 CSR 研究所
半導體量測SPC和製程監控改善
Metrology SPC and Process monitor/improvement in Semiconductor Fab
李宏仁 TBD 2 CSR 研究所 TBD
微影
Lithography
半導體微影、RET、Immersion、EUV(Eng)
Semiconductor Lithography
林本堅 CSR 5403 3 必/選 CSR 研究所
光學鄰近修正
Optical Proximity Correction
高蔡勝 CSR 5404 2 CSR 研究所
微影、蝕刻、鍍膜、清洗、製程設備與控制
Litho Process & Control, scanner,
track, metrology, Deposition, Etching, Cleaning
洛彼得(TEL)、
陳俊光 (ASML)
CSR 5405 3 CSR 研究所
微影光罩
Lithography Mask
高蔡勝 CSR 6401 2 CSR 研究所
極紫外光微影原理(Eng)
Principles of Extreme-Ultraviolet Lithography
嚴濤南(ASML) CSR 5406 2 CSR 研究所
封裝技術與模擬
Package Technology and Simulation
電子封裝力學概論(Eng)
Fundamental Mechanics of Electronic Packaging
江國寧 PME 6343 3 動機系 研究所
奈米世代封裝技術
Packaging for Nanoelectronics
余振華(TSMC)/余國寵(TSMC) CSR 5407 2 CSR 研究所
人工智慧與半導體製程-推薦學習課程
AI and Semiconductor Processing: Recommended Learning Pathways
機器學習
Machine Learning
孫 民 EE 6550 3 (AI組)
必選一
電機系 研究所
圖形識別
Pattern Recognition
許秋婷 CS 5540 3 資工系 研究所
人工智慧倫理、法律與社會
AI Ethics, Law and Society
賴尚宏 CS 5605 3 資工系 研究所
人工智慧與藝術導論
Introduction to Artificial Intelligence and Arts
吳中浩 CS 5604 3 資工系 研究所
影像處理
Image Processing
林嘉文 EE 6630 3 電機系 研究所 TBD
深度學習
Deep Learning
吳尚鴻 CS 5656 3 資工系 研究所
深度增強式學習
Deep Reinforcement Learning
李濬屹 CS 5657 3 資工系 研究所
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