儀器二：FIB — 焦離子束電子束掃瞄式微結構製造系統
焦離子束電子束掃描式微結構製造系統（FIB-SEM）
◼️ 儀器廠牌及型號： ZEISS Crossbeam 550（2025 年出廠）
◼️ 儀器位置： 清大 材料科技館 100 室
◼️ 預約平台： 晶片驅動 - 全台半導體資源共享平台
◼️ 重要規格
| SEM | FIB | |
|---|---|---|
| Acceleration voltage | 20 V – 30 kV | 500 V – 30 kV |
| Beam current | 10 pA – 100 nA | 1 pA – 100 nA |
| Detectors | InLens, SEs, BSEs, aSTEM | |
| GIS | Pt / C | |
| Omniprobe 400 | ||
| Energy Dispersive Spectrometer (EDS) detector — Sensor size 170 mm² | ||
| Electron Backscattered Diffraction (EBSD) — Resolution Max 1244 × 1024 | ||
| Plasma Cleaner | ||
| Atlas 3D Tomography, ZEN | ||
◼️ 服務項目及收費標準 (推廣期間)
| 服務項目 | 學界 | 業界 | |
|---|---|---|---|
| TEM Lamella | 預付 10 萬元 8 折優惠 |
預付 30 萬元 8 折優惠 |
|
| 委託代工 | 一般用戶 | 2500 元/時 | 7500 元/時 |
| 自行操作 | 一般用戶 | 1875 元/時 (7.5 折優惠) |
暫不開放 |
| 金屬沉積費 | Pt 沉積 300 元/次 | ||
| C 沉積 300 元/次 | |||
| 半月型銅網 | 200 元/片 | ||
| EDS | 300 元/時 | 900/時 | |
| 委託代工 /自行操作 |
一般用戶 大量用戶 |
計費折扣同上 | |
| EBSD | 800 元/時 | 2400/時 | |
| 委託代工 /自行操作 |
一般用戶 大量用戶 |
計費折扣同上 | |
*試行階段暫不開放自行操作
◼️ 儀器開放時間：詳見預約平台。
◼️ 預期回件時間：依據預約時間先後排序處理。
◼️ 諮詢教授：嚴大任 教授
電話：03-5715131 #42171
Email：tjyen@mx.nthu.edu.tw
◼️ 儀器管理：吳心如 博士
Email：fib_cosr@my.nthu.edu.tw