林本堅 特聘研究講座教授
兼任台積電研發中心主任
中央研究院院士
美國工程院院士
IEEE 會士
SPIE會士

學歷：
美國俄亥俄州立大學電機工程博士

研究領域：
奈米微影術、半導體製造技術

Email：burnlin@ee.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-42206
辦公室：第三綜合大樓4樓
網頁：連結
ORCID: 

半導體製程部主任

高蔡勝 半導體特聘教授
 

學歷：
清華大學物理學博士

研究領域：
OPC、光罩技術、半導體微影製程技術

Email：tsaisheng_kao@mx.nthu.edu.tw
電話：(03)57-15131 ext.42207
辦公室：第三綜合大樓4樓C20室
實驗室：
網頁：
ORCID:

邱博文 特聘教授
兼任研發長及國際產學營運總中心主任

學歷：
德國慕尼黑工業大學物理博士

研究領域：
二維原子層半導體元件與物理，新穎半導體薄膜製程

Email：pwchiu@ee.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-42437
辦公室：台達館950室
實驗室：工三館101室
網頁：連結
ORCID：0000-0003-4909-0310

游萃蓉 特聘教授

學歷：
美國麻省理工學院材料科學工程博士

研究領域：
半導體製程、電子學、材料科學與工程導論、先進半導體製程及整合；奈米電子；生物感測顯像；綠能材料

Email：tryew@mx.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-42573
辦公室：台達館412室
實驗室：材料科技館311室/33890
網頁：連結
ORCID：

柳克強 教授
 

學歷：
美國加州大學洛杉磯分校電機工程博士

研究領域：
1.矽薄膜太陽能電池電漿化學氣相沉積製程
2. 奈米光電 - 電漿子
3.微波/射頻電漿量測

Email：kcleou@ess.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-42378
辦公室：工科館515室
實驗室：
電漿實驗室:工科新館 503
電漿製程實驗室:工科新館 501
微系統薄膜製程實驗室:工科新館 709
電漿顯示器實驗室:工科新館 709
奈米碳管場發射顯示器實驗室:工科新館 709
奈米碳管實驗室:工科新館 304
網頁：連結
ORCID：

張存續 教授

物理系主任暨所長

學歷：
國立清華大學物理博士

研究領域：
1.4H-SiC寬能隙半導體製程
2.4H-SiC 雷射退火、微波退火
3.半導體材料與電磁波、微波交互作用
4.高功率波源、電漿物理在半導體製程應用
5.微波、電磁波、電漿與材料處理

Email：thschang@phys.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-42978
辦公室：物理館417室
實驗室：

高頻電磁物理實驗室/物理館119室/42560
網頁：
ORCID：

半導體研究學院副院長

賴志煌 講座教授

學歷：
美國史丹佛大學材料科學工程博士

研究領域：
自旋電子元件，磁性記憶體(MRAM)，CIGS薄膜太陽能電池

Email：chlai@mx.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-33822
辦公室：台達館419室
網頁：連結
 

楊家銘 教授

學歷：
國立清華大學博士

研究領域：
物理化學、材料化學、異相催化化學

Email：cmyang@mx.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-31282
辦公室：化二館225室
實驗室：
網頁：連結
ORCID：

歐陽汎怡 教授

學歷：
美國加州大學洛杉磯分校材料工程博士

研究領域：
電子材料、薄膜製程與分析、固態擴散與界面反應

Email：fyouyang@ess.nthu.edu.tw
電話：(03)57-15131 ext.34321
辦公室：工科館509室
實驗室：
網頁：連結
ORCID：0000-0003-4909-0310

鄭有舜 教授

(國家同步輻射研究中心 研究員)

學歷：
美國羅德島大學物理博士

研究領域：
X光與中子散射、薄膜結構分析、軟物質與生物分子結構分析

Email：usjeng@nsrrc.org.tw
電話：(03) 5780281 ext.7108
辦公室：
實驗室：
網頁：連結
ORCID：

黃嘉宏 特聘教授
 

學歷：
美國伊利諾大學博士

研究領域：
過渡金屬氮化物薄膜材料、材料機械與腐蝕性質、電漿離子輔助沉積薄膜製程

Email：jhhuang@ess.nthu.edu.tw
電話：(03)57-15131 ext.34274
辦公室：工科館213室
實驗室：
網頁：連結
ORCID：

嚴濤南 產業兼任教授
艾司摩爾公司 副總經理

學歷：
Ph.D. in Electrical Engineering and Computer Science, MIT

研究領域：
Classical Optics, Nanolithography, Extreme-Ultraviolet Lithography

Email：tony.yen@asml.com
電話：
辦公室：
實驗室：
網頁：連結
ORCID：

陳俊光 產業兼任教授

艾司摩爾 (ASML) 技術發展中心
協理

學歷：
國立清華大學物理博士

研究領域：
奈米微影製程、曝光顯影機、微影繞射理論

Email：ck.chen@asml.com
網頁：
ORCID：

余振華 博士
TSMC Distinguished Fellow, Vice President
(台積卓越科技院士、Pathfinding for system Integration 副總經理)
產業兼任教授

學歷：
PhD, Materials Science and Technology, Georgia Tech

研究領域：
Semiconductor Process Modules, Process Integration, Interconnect, System Integration, Advanced Packaging

Email：chyu@tsmc.com
網頁：
ORCID：

段興宇 教授

 

學歷：
美國德州大學奧斯汀分校化學工程學系博士

研究領域：
電化學技術與元件、半導體奈米材料、粉粒體分析與鑑定

Email：hytuan@che.nthu.edu.tw
電話：(03) 51-75131 Ext.42509
辦公室：化工館311室
實驗室：化工館330室
網頁：連結
ORCID：

顧逸霞 教授
SPIE Fellow
(工研院量測技術發展中心 資深正研究員)

學歷：
國立清華大學原子科學研究所博士

研究領域：
半導體製程檢測技術、電磁波理論模型、散射術分析演算法

Email：yku@itri.org.tw
電話：(03) 57-32103
辦公室：
實驗室：
網頁：連結
ORCID：

葉昭輝 教授

學歷：
國立清華大學電子工程博士

研究領域：
奈米級金屬氧化物二維電晶體，阻記憶體，類神經網路硬體設計，二維材料實現單體三維積體電路(3D-ICs)應用，高速/高頻二維電子元件，以化學氣象沉積技術低溫生長二維材料

Email：chyeh@ee.nthu.edu.tw
電話：03-5162173
辦公室：台達館 R825
實驗室：工程三館 R209
網頁：連結
ORCID：0000-0002-9437-055X

嚴大任 教授
國立清華大學 全球事務長
SPIE Fellow
 

學歷：
國立加州大學洛杉磯分校博士

研究領域：
1. MEMS
2. Metamaterials
3. Plasmonics
4. Nanodevices

Email：tjyen@mx.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-42171
辦公室：台達館429室
實驗室：材料實驗館R107
網頁：連結
ORCID：0000-0003-3613-699X

江國寧 清華講座教授

學歷：
美國喬治亞理工學院機械工程博士

研究領域：
1. 微電子/微機電/光電封裝
2. 電腦輔助工程
3. 奈米力學理論與模擬技術
4. 結構長時可靠度與散熱分析

Email：knchiang@pme.nthu.edu.tw
電話：03-5742925
辦公室：工程一館511室
實驗室：工程一館407室
網頁：連結
ORCID：

闕郁倫 特聘教授

學歷：
國立清華大學材料科學工程博士

研究領域：
材料科學與工程、固態物理導論、電子顯微鏡、低維度材料、光電材料及能源材料合成及量測
 

Email：ylchueh@mx.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-33965
辦公室：台達館428室
實驗室：材料實驗館115室
網頁：連結
ORCID：

張守仁 產業兼任教授
(力晶積成電子 研發副總)

學歷：
國立台灣大學電機博士

研究領域：
1.Logic Technology Process Integration
2.Memory Technology
3.Emerging Memory
4.Wafer Stacking Integration

Email：szchang@powerchip.com
電話：
辦公室：
實驗室：
網頁：
ORCID：

李昌駿 教授
 

學歷：
國立清華大學動力機械工程博士

研究領域：
先進封裝技術、半導體後段製程可靠度、計算力學


 

Email：cclee@pme.nthu.edu.tw
電話：(03) 5162410
辦公室：工一519室
實驗室：工一533室
網頁：連結
ORCID：

劉昌樺 副教授
 

學歷：
美國密西根大學電機博士

研究領域：
固態半導體元件、奈米元件製程、新穎二維材料物性分析

Email：changhua@gapp.nthu.edu.tw
電話：(03)5162172
辦公室：台達936
實驗室：
網頁：連結
ORCID：

沈昌宏 教授
(國家實驗研究院台灣半導體研究中心 研究員)

學歷：
國立清華大學物理博士

研究領域：
二維材料電晶體、氮化鎵高頻高功率元件、積層型三維積體電路

Email：chshen@narlabs.org.tw
電話：
辦公室：
實驗室：
網頁：
ORCID：

趙強 兼任教授
(Technical Director, KLA Corporation)
 

學歷：
Ph.D. , Analytical Chemistry, Texas Tech University

研究領域：
Metrology for Semiconductor Process control

Email：Qiang.zhao@kla.com



 

Dr. Peter Loewenhardt
產業兼任教授
Senior Vice President
(資深副總裁)
Tokyo Electron Taiwan Ltd.
(東京威力科創股份有限公司)

學歷：
Research Fellow, California Institute of Technology
Ph.D. (plasma physics) Australian National University

研究領域：
semiconductor equipment

Email：peter.loewenhardt@tel.com
網頁：
ORCID：

黃健朝 教授

 

學歷：
國立清華大學材料工程博士

研究領域：CMOS元件與製程技術
 

Email：chienchaohuang@mx.nthu.edu.tw
電話：(03)5715131#35925
辦公室：第三綜合大樓4樓C16室
實驗室：
網頁：
ORCID：
 

李愷信 副教授
(國家實驗研究院台灣半導體研究中心 研究員)

學歷：
國立台灣大學物理博士

研究領域：
新穎非揮發性記憶體、自旋電子學、先進半導體材料

Email：ksli@narlabs.org.tw
電話：
辦公室：
實驗室：
網頁：
ORCID：

余國寵 兼任教授
(台灣積體電路製造股份有限公司 處長)

學歷：
德州大學奧斯汀分校機械工程博士
 

研究領域：
先進封裝、異質晶片系統整合
 

Email：kcyee@tsmc.com