學歷：
美國俄亥俄州立大學電機工程博士

研究領域：
奈米微影術、半導體製造技術

Email：burnlin@ee.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-42206
辦公室：第三綜合大樓4樓
網頁：連結
ORCID: 

學歷：
清華大學物理學博士

研究領域：
OPC、光罩技術、半導體微影製程技術

Email：tsaisheng_kao@mx.nthu.edu.tw
電話：(03)57-15131 ext.42207
辦公室：第三綜合大樓4樓C20室
實驗室：
網頁：
ORCID:

學歷：
德國慕尼黑工業大學物理博士

研究領域：
二維原子層半導體元件與物理，新穎半導體薄膜製程

Email：pwchiu@ee.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-42437
辦公室：台達館950室
實驗室：工三館101室
網頁：連結
ORCID：0000-0003-4909-0310

學歷：
美國德州大學奧斯汀分校化學工程學系博士

研究領域：
電化學技術與元件、半導體奈米材料、粉粒體分析與鑑定

Email：hytuan@che.nthu.edu.tw
電話：(03) 51-75131 Ext.42509
辦公室：化工館311室
實驗室：化工館330室
網頁：連結
ORCID：

學歷：
美國史丹佛大學材料科學工程博士

研究領域：
自旋電子元件，磁性記憶體(MRAM)，CIGS薄膜太陽能電池

Email：chlai@mx.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-33822
辦公室：台達館419室
網頁：連結
 

學歷：
國立清華大學博士

研究領域：
物理化學、材料化學、異相催化化學

Email：cmyang@mx.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-31282
辦公室：化二館225室
實驗室：
網頁：連結
ORCID：

學歷：
美國加州大學洛杉磯分校材料工程博士

研究領域：
電子材料、薄膜製程與分析、固態擴散與界面反應

Email：fyouyang@ess.nthu.edu.tw
電話：(03)57-15131 ext.34321
辦公室：工科館509室
實驗室：
網頁：連結
ORCID：0000-0003-4909-0310

學歷：
美國普度大學電機資訊工程博士 PhD in Electrical and Computer Engineering, Purdue University, USA

研究領域：
超快雷射、光譜學、半導體檢測 Ultrafast lasers, spectroscopy, semiconductor inspection

Email：shangda@ee.nthu.edu.tw
電話：(03)5742583
辦公室：台達810
實驗室：
網頁：連結
ORCID：

學歷：
國立台灣大學物理博士

研究領域：
新穎非揮發性記憶體、自旋電子學、先進半導體材料

Email：ksli@narlabs.org.tw
電話：
辦公室：
實驗室：
網頁：
ORCID：

學歷：
美國羅德島大學物理博士

研究領域：
X光與中子散射、薄膜結構分析、軟物質與生物分子結構分析

Email：usjeng@nsrrc.org.tw
電話：(03) 5780281 ext.7108
辦公室：
實驗室：
網頁：連結
ORCID：

學歷：
美國伊利諾大學博士

研究領域：
過渡金屬氮化物薄膜材料、材料機械與腐蝕性質、電漿離子輔助沉積薄膜製程

Email：jhhuang@ess.nthu.edu.tw
電話：(03)57-15131 ext.34274
辦公室：工科館213室
實驗室：
網頁：連結
ORCID：

學歷：
Ph.D. in Electrical Engineering and Computer Science, MIT

研究領域：
Classical Optics, Nanolithography, Extreme-Ultraviolet Lithography

Email：tony.yen@asml.com
電話：
辦公室：
實驗室：
網頁：連結
ORCID：

學歷：
國立清華大學物理博士

研究領域：
奈米微影製程、曝光顯影機、微影繞射理論

Email：ck.chen@asml.com
網頁：
ORCID：

學歷：
PhD, Materials Science and Technology, Georgia Tech

研究領域：
Semiconductor Process Modules, Process Integration, Interconnect, System Integration, Advanced Packaging

Email：chyu@tsmc.com
網頁：
ORCID：

學歷：
國立清華大學電子工程博士

研究領域：
奈米金屬氧化物二維電晶體(2D NanoFET)，阻記憶體(RRAM)，類神經網路硬體(Neural Network Hardware)，積層三維積體電路設計(M3D-ICs)，高速/高頻二維電子元件(High-Speed Transistor)，低溫二維材料磊晶(Low-T 2D Epitaxy)

Email：chyeh@ee.nthu.edu.tw
電話：03-5162173
辦公室：台達館 R825
實驗室：工程三館 R209
網頁：連結
ORCID：0000-0002-9437-055X

學歷：
國立清華大學原子科學研究所博士

研究領域：
半導體製程檢測技術、電磁波理論模型、散射術分析演算法

Email：yku@itri.org.tw
電話：(03) 57-32103
辦公室：
實驗室：
網頁：連結
ORCID：

學歷：
國立清華大學材料科學工程博士

研究領域：
材料科學與工程、固態物理導論、電子顯微鏡、低維度材料、光電材料及能源材料合成及量測
 

Email：ylchueh@mx.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-33965
辦公室：台達館428室
實驗室：材料實驗館115室
網頁：連結
ORCID：

學歷：
國立加州大學洛杉磯分校博士

研究領域：
1. MEMS
2. Metamaterials
3. Plasmonics
4. Nanodevices

Email：tjyen@mx.nthu.edu.tw
電話：(03) 57-42171
辦公室：台達館429室
實驗室：材料實驗館R107
網頁：連結
ORCID：0000-0003-3613-699X

學歷：
美國喬治亞理工學院機械工程博士

研究領域：
1. 微電子/微機電/光電封裝
2. 電腦輔助工程
3. 奈米力學理論與模擬技術
4. 結構長時可靠度與散熱分析

Email：knchiang@pme.nthu.edu.tw
電話：03-5742925
辦公室：工程一館511室
實驗室：工程一館407室
網頁：連結
ORCID：

學歷：
國立清華大學材料工程博士

研究領域：CMOS元件與製程技術
 

Email：chienchaohuang@mx.nthu.edu.tw
電話：(03)5715131#35925
辦公室：第三綜合大樓4樓C16室
實驗室：
網頁：
ORCID：
 

學歷：
國立台灣大學電機博士

研究領域：
1.Logic Technology Process Integration
2.Memory Technology
3.Emerging Memory
4.Wafer Stacking Integration

Email：szchang@powerchip.com
電話：
辦公室：
實驗室：
網頁：
ORCID：

學歷：
國立清華大學動力機械工程博士

研究領域：
先進封裝技術、半導體後段製程可靠度、計算力學


 

Email：cclee@pme.nthu.edu.tw
電話：(03) 5162410
辦公室：工一519室
實驗室：工一533室
網頁：連結
ORCID：

學歷：
美國密西根大學電機博士

研究領域：
固態半導體元件、奈米元件製程、新穎二維材料物性分析

Email：changhua@gapp.nthu.edu.tw
電話：(03)5162172
辦公室：台達936
實驗室：
網頁：連結
ORCID：

學歷：
國立清華大學物理博士

研究領域：
二維材料電晶體、氮化鎵高頻高功率元件、積層型三維積體電路

Email：chshen@narlabs.org.tw
電話：
辦公室：
實驗室：
網頁：
ORCID：

學歷：
清華大學電子所博士
Ph.D., National Tsing Hua University

研究領域：
奈米元件, 積層型3D晶片技術
Nano-devices, monolithic 3D-ICs

Email：samyang@narlabs.org.tw
電話：03-5773693 ext.7565
辦公室：
實驗室：
網頁：
ORCID：

學歷：
Ph.D. , Analytical Chemistry, Texas Tech University

研究領域：
Metrology for Semiconductor Process control

Email：Qiang.zhao@kla.com



 

學歷：
德州大學奧斯汀分校 機械工程博士
 

研究領域：
先進封裝、異質系統整合
 

Email：kcyee@tsmc.com


 

學歷：
Research Fellow, California Institute of Technology
Ph.D. (plasma physics) Australian National University

研究領域：
semiconductor equipment

Email：peter.loewenhardt@tel.com
網頁：
ORCID：